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專業提供安捷倫氦檢漏儀維修，質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被廣泛應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。氦質譜檢漏儀在使用過程中，往往會因為產生的一些故障或是現象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。本文以氦質譜檢漏儀為例，介紹了該型檢漏儀的工作原理及結構組成，分析了檢漏儀5種常見故障的處理方法，總結了檢漏儀在使用過程中應重點注意的事項。

氦檢漏儀維修故障與處理

1、檢漏儀內部泄漏

(1)內部的密封結構

當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。氦質譜檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側，位于隔熱板的上方。

①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動，此處容易造成密封膠開裂。

②各電磁閥與閥門組件問的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5年以上時，有可能會存在密封失效的問題。

③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。